高温煅烧氮化硅悬浮液性能研究和涂层应用  

The Performance Study and Coating Application of Calcined Silicon Nitride Suspension

作　　者：王海果 苏成 贾梦秋 邓亮亮 裴迎 WANG Hai guo

机构地区：[1]徐州协鑫太阳能材料有限公司,徐州221000 [2]江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,徐州221000

出　　处：《佛山陶瓷》2024年第12期18-21,共4页Foshan Ceramics

摘　　要：为提高氮化硅悬浮液的稳定性以制备均匀致密的氮化硅涂层,本文对氮化硅粉在1130℃空气条件下高温煅烧3h。通过对比煅烧前后氮化硅重量差异,理论计算了氮化硅的氧含量,结合SEM和EDS测试方法,研究了煅烧前后氮化硅形貌和氧含量变化,测试了氮化硅悬浮液电导率,制备了氮化硅涂层用于多晶铸锭。结果表明:高温煅烧氮化硅粉氧含量为4.01%,在纯水和1%粘结剂溶液中具有较高的稳定性,氮化硅涂层均匀致密。

关 键 词：氮化硅 高温煅烧 氧含量 悬浮液 石英陶瓷坩埚 多晶硅锭 

分 类 号：TQ174.6[化学工程—陶瓷工业] TQ127.2[化学工程—硅酸盐工业]