陶瓷电容式压力传感器的设计与应用  

Design and Application of Ceramic Capacitive Pressure Sensor

作　　者：蒋晓龙 唐加婷 朱先丽 喻忠雲 JIANG Xiaolong;TANG Jiating;ZHU Xianli;YU Zhongyun(School of Electronic and Electrical Engineering,Anhui Sanlian University,Anhui 230601,China)

机构地区：[1]安徽三联学院电子电气工程学院,安徽230601

出　　处：《集成电路应用》2024年第9期28-29,共2页Application of IC

基　　金：安徽三联学院2021年省级大学生创新创业训练计划项目(s202110959063);安徽三联学院2022年国家级大学生创新创业训练计划项目(202210959056)

摘　　要：阐述陶瓷电容式压力传感器的结构原理、工艺技术。案例分析陶瓷电容式压力传感器在汽车控制系统、医疗保健、自然环境监测中的应用,以及陶瓷电容式压力传感器在不同需求中的作用机制。This paper describes the structural principle and process technology of ceramic capacitive pressure sensors.Case study on the application of ceramic capacitive pressure sensors in automotive control systems,healthcare,and natural environment monitoring,as well as the mechanism of ceramic capacitive pressure sensors in different needs.

关 键 词：压力传感器 陶瓷电容 工艺技术 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]