半导体生产中的静电危害概述  

作　　者：张攀 

机构地区：[1]不详

出　　处：《广东安全生产技术》2025年第3期49-49,共1页

摘　　要：在现代半导体制造工艺中,静电现象已经成为一个不容忽视的重要安全隐患。静电是指物体表面因电荷不平衡而产生的静止电场,这种现象在半导体生产车间中尤为普遍且具有潜在破坏性。由于半导体器件的微型化和高集成度发展趋势,其对静电的敏感程度也在不断提高。

关 键 词：半导体制造工艺 半导体生产 半导体器件 静电危害 静电现象 生产车间 敏感程度 高集成度 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]