冷场发射扫描电镜  

出　　处：《中外船舶科技》2024年第4期F0002-F0002,共1页Shipbuilding Science and Technology

摘　　要：冷场发射扫描电镜适合对各种金属、非金属固体材料的表面形貌观察,配合能谱仪(EDS)可以对Be4~Cf98之间的元素进行定性和定量分析,可广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域的检验和研究。

关 键 词：能谱仪 表面形貌观察 冷场发射扫描电镜 

分 类 号：G63[文化科学—教育学]