浅谈西门子PLC和VFD在链式湿法刻蚀设备中的应用  

作　　者：张铠超 

机构地区：[1]上海普达特设备科技有限公司,上海201203

出　　处：《中国设备工程》2025年第8期119-121,共3页China Plant Engineering

摘　　要：在当前社会发展的过程中,自动化控制技术得到了快速的发展,西门子PLC和变频器VFD在光伏/半导体行业中得到了广泛的使用,本文就其在硅片链式酸刻设备控制系统中的应用进行阐述。刻蚀工艺的正确进行是很关键的,否则芯片将不能工作。不正确刻蚀的硅片就只能报废,给硅片制造公司带来损失。

关 键 词：西门子PLC和VFD 链式酸刻设备 刻蚀工艺 

分 类 号：TM571.61[电气工程—电器] TM921.51