射频电源在半导体领域的应用  

作　　者：左政 冯国楠 李建慧 贾靖 赵聪鹏 

机构地区：[1]中国电子信息产业发展硏究院

出　　处：《软件和集成电路》2025年第4期38-43,共6页Software and Integrated Circuit

摘　　要：随着全球市场对高性能、低功耗电子产品需求的持续高涨,深入探究射频电源技术的最新突破及未来演进路径,已成为推动行业进步、满足市场需求的关键。发展新质生产力是我国迈向高质量发展阶段的内在驱动力与核心战略支点,其中,半导体作为新质生产力的典型代表之一,正以其无可替代的地位,引领着现代电子技术的革新步伐,以前瞻性的技术飞跃,加速着信息社会的发展。在这一精密制造链条中,射频电源无疑是一位至关重要的“幕后功臣”,它凭借对等离子体生成的精细调控与管理,深刻影响着蚀刻精度、沉积质量等一系列关键生产环节的性能与效率,为半导体产品的卓越品质奠定了坚实基础。

关 键 词：高性能 半导体 射频电源 等离子体生成 

分 类 号：TN86[电子电信—信息与通信工程]