冷等离子体中的Fokker-Planck方程  

Fokker- Planck equation in cold plasma

作　　者：杜凯[1] 宋国利[1] 谭凯[1] 杨幼桐[1] 李明远[1] 

机构地区：[1]哈尔滨学院物理与电子工程系,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《黑龙江大学自然科学学报》2002年第4期78-81,共4页Journal of Natural Science of Heilongjiang University

基　　金：黑龙江省教育厅科学技术研究指导项目(10513015);哈尔滨学院科研基金资助项目

摘　　要：冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂,对于低温下材料表面的改性有着较大优势。讨论了描写冷等离子体输运过程的Fokker-Planck方程,同时提出了目前Fokker-Planck方程描写存在的困难以及解决的可能途径。The activity of cold plasma could lead to many kinds of chemistry reaction and physics mixture, with potential advantage for surface modification of material under low temperature. Fokker-Planck equation in cold plasma is discussed, and the currently existing problems and the way to solve it were pointed out.

关 键 词：冷等离子体 FOKKER-PLANCK方程 表面改性 输运过程 分布函数 

分 类 号：O53[理学—等离子体物理]