用激光平面干涉仪测量光学平板玻璃的平行差  

作　　者：邓芳纹 

机构地区：[1]中国科学院西安光机所工厂

出　　处：《电子工业专用设备》1992年第2期28-31,45,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：平板玻璃是指两个表平面相互平行的玻璃板。在加工中,由于加工设备、测量仪器等因素,不可能将两个表平面加工的绝对平行,总是会形成一定的角度,这个角度就是平行平板玻璃的平行性误差,用误差角θ表示,见图1。

关 键 词：激光 平行差 干涉仪 光学平板玻璃 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]