飞速发展的微电子技术  

High Developing Microeletronics Technique

作　　者：杨筱莉[1] 张丽[1] 

机构地区：[1]东北微电子研究所,沈阳110032

出　　处：《微处理机》2002年第4期3-4,13,共3页Microprocessors

摘　　要：介绍了微电子发展的最新技术动态。This paper presents the lastest advances of microelectronics technique.

关 键 词：微电子技术 场效应晶体管 纳米技术 单电子晶体管 单分子晶体管 生物芯片 

分 类 号：TN409[电子电信—微电子学与固体电子学]