光学光刻技术的新进展  

作　　者：杨钟濂 

出　　处：《电子世界》1992年第8期4-5,共2页Electronics World

关 键 词：集成电路 工艺 光刻技术 

分 类 号：TN405.71[电子电信—微电子学与固体电子学]