271用传导原子力显微镜对超薄SiO2薄膜的电传导进行纳米级观察  

出　　处：《电子产品可靠性与环境试验》2002年第6期66-66,共1页Electronic Product Reliability and Environmental Testing

关 键 词：导电原子力显微镜 MOS结构 电传导 超薄SiO2薄膜 纳米级观察 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]