19.5nm波段光电成像系统分辨率的实验研究  

The Experimental Study on the Resolution of the Electro-optical Imaging System at 19.5 nm

作　　者：薛玲玲[1] 陈波[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130022

出　　处：《光电子．激光》2003年第1期17-19,共3页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (6993 80 2 0 ) ;中国科学院长春光机与物理研究所创新基金资助项目 (ZJ0 0 Q11B)

摘　　要：基于微通道板 (MCP)探测器件设计一套成像系统 ,用于对波长为 19.5 nm的极紫外 (EUV)光进行成像。结果获得了宽度为 3mm的狭缝的像 ,实验测得 175 μm的成像系统的空间分辨率。并分析了影响系统分辨率的因素及为提高系统分辨率所应采取的措施。An imaging system based microchannel plate on(MCP) detector is designed to image the extereme ultraviolet(EUV) light at 19.5 nm.The image of a 3 mm width slit is obtained by this imaging system.Its spatial resolution of 175 μm is demonstrated in this paper.Moreover,all kinds of factors influencing the resolution of the imaging system are analyzed and the measures to improve the resolution are taken in this paper.

关 键 词：光电成像系统 极紫外 EUV 分辨率 激光等离子体 单色仪 微通道板 MCP 

分 类 号：TN362[电子电信—物理电子学]