微型器件的自装配技术  

Self-assembly technology of microdevices

作　　者：邓凯[1] 夏善红[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地,北京100080

出　　处：《微纳电子技术》2003年第1期25-29,共5页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家自然科学基金的资助项目(90207006)

摘　　要：自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用。Self-assembly technology(SAT)has received significant research and development at-tention for its applications in microelectromechanical systems (MEMS )since its first introduction as a biochemical breakthrough back in1990s.This paper introduces the technological evolution of SAT and compares several self-assembly methods using different forces such as gravity,capil-lary forces and hydrophilic(hydrophobic)attraction.In addition,we conclude SAT will show promising application future in micro-assembly field.

关 键 词：微型器件 自装配技术 微机电系统 毛细作用 重力 亲水力 

分 类 号：TH161[机械工程—机械制造及自动化] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]