厚膜混合集成电路用的激光调阻系统  

Laser Trimming System of Resistor for Thick-film Hybrid Integrated Circuit

作　　者：许永勤[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第43研究所,安徽合肥230022

出　　处：《电子元器件应用》2003年第1期50-52,共3页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：介绍厚膜混合集成电路用的激光调阻系统的机理、结构、切割图形及工艺参数。The mechanism, construction, cutting diagrams and technology parameters of the laser trimming system of resistor for thick-film hybrid integrated circuit are provided here.

关 键 词：厚膜混合集成电路 激光调阻系统 激光器 修调技术 切割图形 

分 类 号：TN452[电子电信—微电子学与固体电子学] TN249