有源矩阵液晶显示器的薄膜晶体管技术  

The TFT Technology for AMLCD

作　　者：史永基[1] 史建军 史红军 

机构地区：[1]洛阳工业高等专科学校老干部科 [2]武汉士官学校 [3]洛阳中信公司自动化所

出　　处：《传感器世界》2003年第2期10-14,共5页Sensor World

摘　　要：全文描述了应用于有源矩阵液晶显示器领域的各种薄膜晶体管技术,本期主要介绍多晶硅薄膜晶体管技术,给出了其主要类型、工作原理及性能,以及生产制作中的关键性技术。A variety of the TFT techniques for AMLCD are described in these serial paper. The poly-silicon TFT is the emphases of this part. The main types, working principles, performances and key techniques in manufacture are presents in detail

关 键 词：有源矩阵 液晶显示器 薄膜晶体管 平板显示 多晶硅 AMLCD 

分 类 号：TN141.9[电子电信—物理电子学]