球形微米和纳米级SiO_2的生产新工艺  

作　　者：纪崇甲[1] 

机构地区：[1]中国科学院力学研究所

出　　处：《中国粉体技术》2003年第1期36-37,共2页China Powder Science and Technology

关 键 词：球形微米SiO2 二氧化硅 生产工艺 电子封装材料 纳米级SiO2 

分 类 号：TN305.94[电子电信—物理电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]