一种RF-MEMS微开关的圆片级封装  

作　　者：符正威 

出　　处：《集成电路通讯》2003年第1期41-41,共1页

关 键 词：RF-MEMS 圆片级封装 射频微开关器件 微电子机械加工 

分 类 号：TM564[电气工程—电器]