16-Channel 0.35μm CMOS/VCSEL Transmission Modules  

16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块(英文)

作　　者：陈弘达[1] 申荣铉[1] 毛陆虹[1] 唐君[1] 梁琨[1] 杜云[1] 黄永箴[1] 吴荣汉[1] 冯军[2] 柯锡明[2] 刘欢艳[2] 王志功[2] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083 [2]东南大学射频与光电集成电路研究所,南京210096

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第3期245-249,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划 (编号 :2 0 0 1AA12 2 0 32 ,2 0 0 1AA312 0 80 ,2 0 0 2AA312 2 40 );国家自然科学基金 (批准号 :6 9896 2 6 0 )资助项目~~

摘　　要：The vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) arrays and VCSEL-based optical transmission modules are investigated.It includes the VCSEL's spectral characteristic,modulation characteristic,high frequency characteristic,and compatibility with microelectronic circuit.The module consists of 1×16 VCSEL array and 16-channel lasers driver with 0.35μm CMOS circuit by hybrid integration.During the test process,the module operates well at more than 2GHz in -3dB frequency bandwidth.研究了垂直腔面发射激光器 (VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性 ,将 1× 16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装 (MCM ) ,混合集成为 16信道VCSEL光发射功能模块 .测试过程中 ,功能模块的光电特性及其均匀性良好 ,测量的 - 3dB频带宽度大于 2GHz.

关 键 词：VCSEL CMOS optoelectronic integration optical interconnects 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学] TN303