气敏传感器的发展  

Development of Gas-sensitive Sensor

作　　者：陈长庆[1] 胡明[1] 吴霞宛[1] 

机构地区：[1]天津大学电信学院,博士生天津300072

出　　处：《材料导报》2003年第1期33-35,共3页Materials Reports

摘　　要：综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。Some aspects of gas sensors are discussed in this paper,including their types,recent developments and effects of MEMS on gas sensors.The structure,principle and coating material of SAW and QCM gas senors are presented in detail.

关 键 词：MEMS 声表面波 石英微天平 气敏传感器 废气监测 原理 结构 涂层材料 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] X831[自动化与计算机技术—控制科学与工程]