电子束抽运100W大孔径准分子KrF—激光器  

作　　者：张粹伟 

出　　处：《国外科技》1992年第9期9-10,共2页

关 键 词：电子束 准分子 激光器 氟化氪 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学]