氟化氪

作品数：39被引量：19H指数：3
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相关作者：单玉生王乃彦汤秀章俞明高智星更多>>
相关机构：中国原子能科学研究院哈尔滨工业大学西北核技术研究所中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关期刊：《世界电子元器件》《中国激光》《物理学报》《强激光技术进展》更多>>
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氟化氪短脉冲激光的放大和组束研究被引量：3
《强激光与粒子束》2020年第1期81-84,共4页王钊 张骥 李静 高智星 胡凤明 田宝贤 班晓娜 
国家稳定支持研究项目(WDJC-2019-02)
为充分利用氟化氪(KrF)准分子激光放大器的长泵浦时间,探索提高激光输出效率的方法,开展紫外超短脉冲在KrF准分子激光器中多脉冲放大和组束的实验研究。采用双脉冲放大方案研究激光脉冲时间间隔对输出能量的影响,确定延时时间,提高脉冲...
关键词：紫外超短激光 准分子激光 氟化氪激光 激光放大 脉冲组束 
耐基激光器
《光学精密机械》2014年第3期3-4,共2页
由美国海军研究实验室（NRL）组织实施的耐基氟化氪（KrF）激光器实验经过近5年的实验，终于创造了一项吉尼斯世界纪录：超过1000公里／秒的“最高发射速度”，相当于每小时225万英里。 此前纪录由日本大阪大学激光工程研究所在2006年...
关键词：氟化氪激光器 美国海军研究实验室 日本大阪大学 吉尼斯世界纪录 等离子物理 发射速度 研究所 钕玻璃 
KrF光刻工艺技术被引量：3
《半导体技术》2006年第8期569-572,共4页刘德明 王静辉 
比较了248nmKrF光刻工艺与i-Line工艺上的异同,利用工艺原理和光学原理分析了248nmKrF光刻工艺的特点。对一些光刻工艺中容易出现的问题进行了探讨,使248nmKrF光刻技术在实际工艺中可以得到灵活应用。
关键词：光刻 氟化氪 工艺 
储存环自由电子激光器与KrF激光器激光谐振腔腔镜研制被引量：1
《高能物理与核物理》2005年第1期99-103,共5页高怀林 王乃彦 单玉生 
国家高技术研究发展计划 (863 416 1);国家自然科学基金 (10 475 0 81);核工业科学基金资助~~
惯性约束核聚变氟化氪激光驱动器与储存环自由电子激光器 ,虽然其激光产生机理完全不同 ,但是它们对于激光谐振腔光学膜系的要求却几乎完全相同 .新研制的Al2 O3/SiO2 /MgF2 “双氧化物 +单氟化物”紫外光学膜系 ,在 2 4 8nm中心波长处 ...
关键词：激光谐振腔 自由电子激光器 KRF激光 破坏阈值 膜系 氟化氪 中心波长 光学 高能 光谱带宽 
KrF激光受激布里渊散射反射率稳定性的研究被引量：8
《物理学报》2003年第5期1184-1189,共6页吕志伟 王晓慧 林殿阳 王超 赵晓彦 汤秀章 张海峰 单玉生 
国家 8 63惯性约束聚变主题 (批准号 :863 80 4)资助的课题~~
实验研究发现抽运功率密度 (或抽运能量 )的波动引起的受激布里渊散射 (SBS)反射率的不稳定程度受实验参数 (抽运能量、介质气压和透镜焦距 )的影响 .当抽运能量、介质气压和透镜焦距这三个参数同时满足下列条件时可以获得稳定的输出 :...
关键词：KRF激光 受激布里渊散射 反射率 稳定性 准分子激光 氟化氪 抽运功率密度 抽运能量 介质气压 透镜焦距 
ArF激光光致抗蚀剂的研究进展被引量：2
《感光科学与光化学》2003年第1期61-71,共11页余尚先 杨凌露 张改莲 
2002-2005国家重点863项目
本文对近10年来有关ArF激光(193nm)光致抗蚀剂的研究开发情况进行了调研,对193nm光致抗蚀剂组成物的各个组分进行了归纳综述.从本文可以看出,利用193nm成像技术可以刻画线幅很细(<0.13μm)的图像,能适应信息技术的发展对于光致抗蚀剂高...
关键词：ArF激光 光致抗蚀剂 化学增幅 矩阵树脂 光产酸源 集成电路 光刻蚀 氟化氪 
电子束抽运高重复率KrF激光系统
《激光与光电子学进展》2002年第2期20-23,共4页傅恩生 
为了发展惯性约束聚变能驱动装置所需的技术，在日本电子技术实验室建立了高重复率电子束抽运的ＫｒＦ激光放大器。样机放大器的脉冲电源系统已建成，以１　Ｈｚ重复率产生－３００　ｋＶ、８０　ｎｓ的脉冲。用脉冲变压器、磁开关和水...
关键词：氟化氪激光器 电子束抽运 重复率 惯性约束聚变 KrF激光放大器 
高强度超短脉冲激光聚焦系统的设计
《中国原子能科学研究院年报》1999年第1期37-39,共3页陶业争 高怀林 单玉生 
关键词：氟化氪激光器 高强度超短脉冲激光聚焦系统 设计 焦斑 破坏阈值 能量传递效率 
KrF激光MOPA光学角多路系统的研制进展
《中国原子能科学研究院年报》1998年第1期30-31,共2页龚堃 马景龙 单玉生 王乃彦 
关键词：氟化氪激光惯性约束聚变 氟化氪激光器 MOPA系统 光学角多路系统 
“天光一号”强流电子束加速器高压充电系统的改进和标定
《中国原子能科学研究院年报》1997年第1期43-44,共2页王有田 陆泽 杨淑清 杨大为 单玉生 
关键词：“天光一号”激光器 强流电子束加速器 高压充电系统 改进 标定 氟化氪激光器 
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