集成电路布线用多层碳纳米管（简称CNT）  

出　　处：《液晶与显示》2003年第1期6-6,共1页Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关 键 词：多层碳纳米管 CNT 集成电路 多层布线技术 

分 类 号：TN405.97[电子电信—微电子学与固体电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]