一种用于红外焦平面器件电极铟柱熔融的处理装置  

出　　处：《红外》2003年第3期F004-F004,共1页Infrared

摘　　要：红外焦平面器件电极铟柱是器件芯片与读出电路互联的介质,器件的每个像元电极区都必需制备铟柱。由于器件集成度高,像元电极区的铟柱必须做得极小,并与电极接触良好。

关 键 词：红外焦平面器件 电极铟柱 熔融处理装置 结构组成 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]