红外焦平面器件

作品数:66被引量:343H指数:11
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相关作者:朱建妹王正官刘上乾李志锋陆卫更多>>
相关机构:中国科学院西安电子科技大学昆明物理研究所华中科技大学更多>>
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大面阵短波碲镉汞红外焦平面器件研究被引量:3
《红外与激光工程》2022年第9期141-147,共7页龚晓丹 李红福 杨超伟 袁绶章 封远庆 黄元晋 胡旭 李立华 
随着红外焦平面技术的发展,大面阵红外焦平面器件在遥感、气象、资源普查和高分辨对地观测卫星上得到了广泛应用。因此,基于第三代红外焦平面技术的超大规模焦平面器件成为国内外研究热点。文中介绍了昆明物理研究所采用n-on-p技术路线...
关键词:短波 大面阵 2k 红外焦平面器件 
小像元InSb红外焦平面器件光电性能仿真被引量:2
《航空兵器》2022年第3期61-65,共5页朱旭波 李墨 何英杰 吕衍秋 
航空科学基金项目(201924012003)。
小像元是InSb红外焦平面器件制备的发展方向之一,但其会对器件的光电流响应和串音产生很大影响。因此使用Sentaurus TCAD软件建立了小像元InSb红外焦平面阵列器件的台面结器件模型、平面结器件模型和外延结构器件模型,采用背照射的3个...
关键词:INSB 小像元 红外探测器 电流响应率 串音 Sentaurus TCAD 
锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法
《红外》2020年第1期7-10,共4页肖钰 杨刚 范博文 宁提 刘震宇 
提出了一种锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法。利用该方法,无需将器件背面减薄就能进行盲元测试与分析。基于这种封装方式,将器件倒置后,从芯片正面吸收光的照射,在互连、灌胶以及每一步磨抛工艺步骤后均可进行测试和分析。结果表明,...
关键词:锑化铟 盲元分析 红外焦平面器件 
锑化铟红外焦平面器件信号分层问题研究
《红外》2020年第1期11-14,共4页温涛 龚志红 邱国臣 亢喆 
锑化铟红外焦平面器件在杜瓦测试中常常会出现信号分层问题,由此影响器件制造的成品率。通过对器件杜瓦测试电平图、管芯电流电压测试结果及衬底掺杂浓度进行研究,找到了导致探测器信号分层的原因。进一步的理论分析表明,锑化铟衬底上...
关键词:锑化铟 红外焦平面探测器 信号分层 
锑化铟红外焦平面器件钝化前脱水工艺研究被引量:2
《电子器件》2019年第3期563-568,共6页亢喆 曹海娜 邱国臣 肖钰 
设计了一种专门用于锑化铟红外探测器器件工艺中钝化前的脱水处理工艺技术。包含脱水、干燥和表面处理等一系列的工艺步骤,可作为基于锑化铟材料的焦平面红外探测器器件中钝化前的标准化处理工艺。针对脱水工艺设计中遇到的问题对操作...
关键词:锑化铟 预处理 脱水 干燥 焦平面红外探测器 
百万像素级红外焦平面器件倒装互连工艺研究被引量:9
《激光与红外》2017年第3期319-321,共3页谢珩 王宪谋 王骏 
国防基础科研计划项目(No.JCKY2016210B002)资助
介绍了倒装互连技术的工艺原理,阐述了红外焦平面器件倒装互连的工艺特点。通过系列实验和分析,最终优化并确定了百万像素级红外焦平面器件倒装互连的工艺参数,获得了良好的互连效果。
关键词:倒装互连 百万像素 碲镉汞 红外焦平面 
利用傅里叶变换测量红外焦平面器件响应光谱被引量:1
《激光与红外》2016年第2期200-203,共4页王溪 林春 林加木 赖嘉毅 丁瑞军 何力 
利用傅里叶变换测量光谱的方法具有大通量、高信噪比的优势,在红外测试领域具有重要的应用价值。利用步进扫描和时间分辨的方法,可以同步傅里叶变换红外光谱仪动镜移动和焦平面器件的输出,获得高质量的干涉图,从而计算得到器件的响应光...
关键词:傅里叶变换红外光谱 红外焦平面探测器 步进扫描 
InSb红外焦平面器件台面刻蚀工艺研究被引量:6
《激光与红外》2016年第1期72-75,共4页谭振 亢喆 李海燕 
传统的湿法腐蚀工艺由于各向同性的特点,象元钻蚀严重,导致器件占空比下降,限制了锑化铟大面阵红外焦平面的发展。基于电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,以BCl3/Ar为刻蚀气体,研究了不同气体配比、工作压力、RF功率对刻蚀效果的影响,获得...
关键词:电感耦合等离子体(ICP) 锑化铟 台面刻蚀 刻蚀速率 刻蚀形貌 
激光干扰红外焦平面器件的干扰图像仿真被引量:6
《半导体光电》2015年第2期213-215,共3页亓凤杰 李华 王敏 黄成功 邹前进 王彦斌 
在激光干扰的仿真试验中,要进行干扰效果评估,最直观的方法就是仿真出干扰图像。干扰图像的仿真是进行激光干扰内场仿真试验亟待解决的问题。文章研究了采用CTIA输入级电路以及CDS相关双采样预处理电路的HgCdTe探测器的干扰图像仿真。...
关键词:干扰图像仿真 激光 红外焦平面器件 
论红外焦平面器件的串音被引量:7
《红外》2014年第1期1-8,共8页王忆锋 马钰 
红外探测系统通常需要将探测器密集排列以增加它们的空间分辨率。在焦平面阵列中,当投射到某一特定探测器光敏面上的红外光子在另一个探测器中产生信号时,这种现象称为串音。串音可能会影响焦平面阵列的分辨率性能。在高性能光伏阵列中...
关键词:串音 光电二极管 红外探测器 焦平面阵列 红外成像系统 
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