杨刚

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发文主题：锑化铟磁控溅射表面钝化亚胺化分析方法更多>>
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锑化铟红外探测器的三维电极成型技术
《红外》2023年第6期7-11,共5页张泽群 龚志红 李忠贺 李乾 宁提 杨刚 
锑化铟的电极因三维特性易产生侧壁断裂问题,互联的铟柱会侵入电极内部,影响锑化铟芯片的可靠性。使用离子束溅射沉积、热蒸发、磁控溅射等方法制备三维电极体系,并通过聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)方法以及扫描电子显微镜(Scanni...
关键词：锑化铟 三维电极体系 热蒸发 磁控溅射 离子束溅射沉积 
锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法
《红外》2020年第1期7-10,共4页肖钰 杨刚 范博文 宁提 刘震宇 
提出了一种锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法。利用该方法,无需将器件背面减薄就能进行盲元测试与分析。基于这种封装方式,将器件倒置后,从芯片正面吸收光的照射,在互连、灌胶以及每一步磨抛工艺步骤后均可进行测试和分析。结果表明,...
关键词：锑化铟 盲元分析 红外焦平面器件 
光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用
《激光与红外》2016年第9期1156-1159,共4页郭喜 李忠贺 刘佳星 杨刚 
介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏...
关键词：光敏聚酰亚胺 硫化镉 紫外器件 光刻 亚胺化 表面钝化 
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