刘佳星

作品数：2被引量：2H指数：1
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小型化锑化铟探测器制备被引量：2
《激光与红外》2020年第1期92-95,共4页李海燕 刘佳星 杜红燕 杜孟新 
随着红外探测技术的不断发展,市场对红外探测器提出了越来越多的要求,如高分辨率、高工作稳定性、低成本、小型化等,红外探测器光敏芯片的制备技术随之向大面阵、小间距方向不断探索。基于市场需求,本文从技术发展的角度,研究采用离子...
关键词：锑化铟 离子注入 干法刻蚀 
光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用
《激光与红外》2016年第9期1156-1159,共4页郭喜 李忠贺 刘佳星 杨刚 
介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏...
关键词：光敏聚酰亚胺 硫化镉 紫外器件 光刻 亚胺化 表面钝化 
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