超深亚微米(VDSM)Foundry(一)——逻辑电路  

作　　者：张汝京 杨士宁 刘越[3] 

机构地区：[1]中芯国际 [2]中芯国际逻辑技术发展及制造中心 [3]北京大学

出　　处：《中国集成电路》2003年第44期28-33,共6页China lntegrated Circuit

摘　　要：微电子制造加工技术水平一直制约着我国微电子技术的提高,近年来,将有一批先进的制造加工线在我国建成投产。中芯国际集成电路制造(上海)公司,就是其中之一。该公司,投产一年来进展顺利,2002年底即达到每月投片8英寸硅片3万片的产能。主流加工技术为0.18微米,并可扩展到0.13微米,包括了逻辑电路、数模混合电路、射频电路、高压电路和多种存储器电路等。本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。

关 键 词：微电子 制造加工技术 超深亚微米 逻辑电路 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]