氮原子离子束源的设计研制与应用  

Development and Applications of New Nitrogen Atomic Ion Source

作　　者：王培元[1] 沈宏[2] 秦宗益[2] 应萱同[2] 王培南[2] 

机构地区：[1]上海市机电工业学校,上海200091 [2]先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系,上海200433

出　　处：《真空科学与技术》2003年第1期47-49,共3页Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金资助 (No 60 1780 3 1;10 0 75 0 12 )

摘　　要：本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。A new type of nitrogen ion source has been developed by DC glow discharge.The concentrations of the ion beam were analyzed by mass spectrcscopy and the N + to N + 2 ratio was found to be 5∶1,which is much higher than that obtained with conventional nitrogen ion sources.Possible applications of the new ion source was also briefly discussed.

关 键 词：氮原子离子束源 设计 应用 直流辉光放电 质谱 氮化物 制备 

分 类 号：O613.61[理学—无机化学] O461.21[理学—化学]