硅基聚合物AWG波分复用器研究  

作　　者：张大明[1] 赵禹[2] 王菲[2] 陈开鑫[2] 崔占臣[3] 马春生[2] 许武[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春130022 [2]集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春130023 [3]吉林大学化学学院，长春130022

出　　处：《光子学报》2002年第0Z2期340-344,共5页Acta Photonica Sinica

摘　　要：报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物研制AWG波分复用器，对其原理、设计及制作工艺进行了研究。设计出AWG版图，利用铝掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作。实验结果证明，制备的波导实现了单模传输。

关 键 词：硅基聚合物 波分复用器 AWG 阵列波导光栅 铝掩模 反应离子刻蚀 制作工艺 光纤通信 甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学] TN929.1