三,接触式干涉仪  

作　　者：李修振 

出　　处：《计测技术》1989年第3期45-48,41,共5页Metrology & Measurement Technology

关 键 词：接触式 干涉仪 光波测量仪 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]