微机械传感器的现状与发展  

Current Situation and Developmental Trend of Micromechanical Sensors

作　　者：朱长纯[1] 韩建强[1] 刘君华[1] 

机构地区：[1]西安交通大学,陕西西安710049

出　　处：《电子元器件应用》2003年第4期8-11,共4页Electronic Component & Device Applications

基　　金：国家自然科学基金(60036016;50077016);教育部博士点基金(98069828)。

摘　　要：概述国内外目前已实现的微机械传感器,特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。This article introduces the types,basic principle,features and development trend of micromechanical sensors, especially that of resonant sensors.

关 键 词：微机械传感器 微机电系统 微谐根式传感器 发展现状 工作原理 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]