吉时利与Novellus共同开发自动诊断测试  

出　　处：《电子测试》2003年第6期120-120,共1页Electronic Test

关 键 词：吉时利仪器公司 Novellus系统公司 电气工艺诊断测试 铜 低K材料 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学]