步进扫描工作台气浮结构分析  

The Pneumatic Structure Analysis of Step&Scan Stage

作　　者：李若庆[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,燕郊065201

出　　处：《电子工业专用设备》2003年第3期45-51,共7页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题。This paper mainly analyzes the pneumatic structure and the principle of the step&scan stage,pointing out some concerned issues in pneumatic design&control.

关 键 词：步进扫描工作台 平均移动误差 移动标准误差 微动台 气浮导轨 气足 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]