超高级别微电子洁净厂房的测试  

Testing high class clean rooms in a microelectronic factory

作　　者：刘俊杰[1] 朱能[1] 高志红[1] 

机构地区：[1]天津大学

出　　处：《暖通空调》2003年第3期97-98,共2页Heating Ventilating & Air Conditioning

摘　　要：指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准 ,并对某 0 .1 μm 1级洁净厂房作了实际测试 ,给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器。Points out that the environment parameters of high class clean rooms in a microelectronic factory directly affect the product quality. Presents a current standard for high-class microelectronic clean rooms. Tests a high class building of class 1 with grade 0.1 μm. Summarizes the required testing items, procedures and apparatus in such a factory.

关 键 词：洁净室 微电子厂房 测试 产品质量 集成电路 

分 类 号：TU831.8[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]