微电子厂房

作品数：9被引量：12H指数：1
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某微电子厂房洁净室暖通空调设计原理及方法探讨
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2020年第10期256-257,共2页聂太富 
科学技术的不断发展推动了暖通空调技术的不断创新。暖通空调在人们生产生活中具有很大的作用,尤其是工业厂房更是离不开暖通空调。近年来微电子厂房洁净室暖通空调的设计被越来越多的人们所关注,如何针对电子厂房生产特点优化洁净室暖...
关键词：微电子厂房 洁净室 暖通空调 设计原因 设计方法 
微电子厂房暖通空调设计方案对比探讨被引量：1
《江西建材》2017年第13期31-31,34,共2页罗丽萍 
本文阐述了微电子厂房空调设计中几种不同方案的比较,分析了洁净室的净化空调设计原理及空气处理过程,介绍了几种空调方案的优缺点,并进行了投资费用和运行费用的说明。通过分析比较不同的空调设计方案,才能在实际设计过程中设计一个满...
关键词：微电子厂房 洁净室 新风空调机组 风机过滤单元机组(FFU) 
轻骨料混凝土微电子厂房微振动响应研究
《四川建筑科学研究》2013年第6期218-220,共3页雷自学 苏敏 吴涛 董三升 
西安市科技局资助项目(CXY(1122))
采用有限元分析软件SAP2000对某微电子厂房光刻区进行建模分析。通过对基底输入实测环境振动信号,得出工作平台上典型点在轻骨料混凝土厂房模型以及普通模型在不同阻尼比下的加速度、速度和位移反应。结果表明,轻骨料混凝土可以有效减...
关键词：结构质量 微振响应 时程分析 轻骨料混凝土 
阻尼比对微电子厂房微振动响应的影响研究被引量：1
《四川建筑科学研究》2011年第4期176-179,共4页雷自学 屈尚文 袁卫宁 
采用有限元分析软件SAP2000,对某微电子厂房光刻区工作平台结构进行建模分析,通过对基底输入实测微振数据,计算平台的结构微振动响应,得出工作平台上一些典型点在不同阻尼比时的加速度、速度和位移反应谱曲线以及时程曲线。分析结果表明...
关键词：阻尼比 微振响应 时程分析 反应谱 微电子厂房 
电子厂房防微振设计的发展与问题研究
《科海故事博览：科技探索》2011年第3期79-79,共1页张坤 芦白茹 
随着电子信息产业的发展，工业电子厂房增多，产品向精密化发展对电子厂房的设计提出了更高的要求，本文阐述了微电子厂房防微振设计的发展，提出了防微振设计的方法，为以后类似研究问题提供参考。
关键词：微电子厂房 微振 
微电子厂房结构微振动响应研究被引量：1
《建筑技术》2010年第9期860-862,共3页雷自学 屈尚文 王丹 袁卫宁 
基于某微电子厂房微振动实测数据,采用有限元分析软件SAP2000对结构微振动响应进行模拟分析,得出工作平台上一些点的加速度时程曲线及相应的反应谱,并与实测响应值加以对比。结果表明,无论实测数据还是模拟结果,水平方向基底输入加速度...
关键词：微电子厂房 微振响应 时程分析 反应谱 
某微电子厂房洁净室暖通空调设计原理及方法探讨被引量：9
《制冷技术》2006年第1期32-34,38,共4页秦卓欢 
本文结合了某微电子厂房洁净室空调系统的实例,分析了洁净室的净化空调设计原理,并对气流组织方式、空气处理过程、排风排烟系统进行了阐述和讨论。
关键词：洁净室 空调设计 风机过滤单元机组(FFU) 干式冷盘管 
超高级别微电子洁净厂房的测试
《暖通空调》2003年第3期97-98,共2页刘俊杰 朱能 高志红 
指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准 ,并对某 0 .1 μm 1级洁净厂房作了实际测试 ,给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器。
关键词：洁净室 微电子厂房 测试 产品质量 集成电路 
以经济的投资达到满意的效果——微电子厂房管道设计施工
《工程建设与设计》2003年第2期27-28,共2页姜红华 
介绍127mm(φ5英寸)0.8～1.2μm双极电路生产线对气体、纯水的质量要求,以及如何以经济的投资达到满意的结果。
关键词：微电子厂房 管道设计 超纯水 超纯气体 PVDF EP管 MP管 表面光洁度 施工 
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