以经济的投资达到满意的效果——微电子厂房管道设计施工  

Achieve Satisfactory Effect by the Investment with Economy

作　　者：姜红华 

机构地区：[1]中国华晶电子集团公司动力工厂,江苏无锡214061

出　　处：《工程建设与设计》2003年第2期27-28,共2页Construction & Design for Engineering

摘　　要：介绍127mm(φ5英寸)0.8～1.2μm双极电路生产线对气体、纯水的质量要求,以及如何以经济的投资达到满意的结果。

关 键 词：微电子厂房 管道设计 超纯水 超纯气体 PVDF EP管 MP管 表面光洁度 施工 

分 类 号：TU27[建筑科学—建筑设计及理论] TN08[电子电信—物理电子学]