超精密隔振平台主动振动控制系统设计  

Active vibration control system design for ultra-precision vibration isolation platform

作　　者：浦军[1] 梅德庆[1] 陈子辰[1] 

机构地区：[1]浙江大学现代制造工程研究所,浙江杭州310027

出　　处：《机械设计》2003年第7期31-33,共3页Journal of Machine Design

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50075078)

摘　　要：建立了超精密隔振平台的结构及动力学模型,设计了一种新型的双向电磁作动器,并采用PID控制算法建立了主动振动控制系统模型,经Matlab软件仿真分析表明,该系统具有良好的隔振效果。Structure model and dynamics model of ultra-precision vibration isolation platform was established.We designed a new-typed double direction electromagnetic actuator,and set up a model of active vibration control system by the PID control algorithm. Through analysis with software of Matlab, it is made clear that this system have favorable vibration isolation effect.

关 键 词：超精密隔振平台 主动振动控制系统 设计 双向电磁作动器 振动控制 PID控制 精密加工 

分 类 号：TB535.1[理学—物理] TH161.6[理学—声学]