微电子机械系统技术应用研究  

Study on the Application of MEMS Technology

作　　者：闫利文[1] 

机构地区：[1]常熟高等专科学校机电系,江苏常熟215500

出　　处：《机械工程师》2003年第7期6-9,共4页Mechanical Engineer

摘　　要：微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。

关 键 词：MEMS 微机械加工技术 关键技术 发展趋势 

分 类 号：TH166[机械工程—机械制造及自动化]