电容式微传声器的性能模拟与优化设计  

Simulation of Performance and Optimal Design of Condenser Microphone

作　　者：宁瑾[1] 刘忠立[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所微电子中心,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第8期877-881,共5页半导体学报（英文版）

摘　　要：针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理 ,建立了有限元分析模型和声 电模型 ,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性 ,得出了结构优化的设计原则 ,即要想得到高灵敏度的微传声器器件 ,必须考虑采用尽可能小的空气隙厚度和声学孔尺寸以及具有较小内应力的声学振膜 .为采用MEMS技术制备出高性能的电容式微传声器提供了理论基础 .The finite element method and electro mechano acoustic method are used to analyse the mechanical performance,sensitivity,and frequency response of the condenser microphone.The results of simulation are in good agreement with those of the measured.An optimal principle can be concluded that the highly sensitivity microphone must consist of relatively narrow air gap,small acoustic hole,and low initial stress membrane.

关 键 词：电容式微传声器 MEMS有限元分析 性能模拟 

分 类 号：TN641[电子电信—电路与系统]