电容式微传声器

作品数:6被引量:11H指数:3
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电容式微传声器的性能模拟与优化设计被引量:5
《Journal of Semiconductors》2003年第8期877-881,共5页宁瑾 刘忠立 
针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理 ,建立了有限元分析模型和声 电模型 ,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性 ,得出了结构优化的设计原则 ,即要想得到高灵敏度的微传声器器件 ,必须考虑采用尽可能小的...
关键词:电容式微传声器 MEMS有限元分析 性能模拟 
多孔硅在电容式微传声器制备中的应用研究
《微细加工技术》2003年第1期76-80,共5页宁瑾 刘忠立 刘焕章 葛永才 
多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料。探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其在电容式微传声器制备中的应用可能。提出可以采用氧化多孔硅材料作牺牲层制备微传声器的空气隙的工艺方...
关键词:多孔硅 牺牲层 电容式微传声器 
电子元件、组件
《中国无线电电子学文摘》2002年第5期33-37,共5页
关键词:传感技术 长周期光纤光栅 电流互感器 干涉仪 溅射工艺 电容式微传声器 光纤包层 湿敏 贝克曼温度计 仪表技术 
硅基微传声器的研究进展被引量:1
《中国集成电路》2002年第4期40-43,共4页陈兢 刘理天 李志坚 
基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标...
关键词:电容式微传声器 驻极体传声器 机械灵敏度 制作工艺 前置放大器 硅基 频率响应 微电子 微机械 噪声 
电容式微传声器的制备研究新进展被引量:3
《电子器件》2002年第1期9-13,共5页宁瑾 刘忠立 赵慧 
本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具...
关键词:电容式微传声器 微机械加工技术 制备 
基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制被引量:4
《声学学报》2001年第1期19-24,共6页陈兢 刘理天 李志坚 谭智敏 
基于微电子机械系统(MEMS)技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用 MEMSI艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力,极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明,纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下,显著...
关键词:微电子机械系统 微传声器 电容式 高灵敏度 
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