赵慧

作品数：1被引量：3H指数：1
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电容式微传声器的制备研究新进展被引量：3
《电子器件》2002年第1期9-13,共5页宁瑾 刘忠立 赵慧 
本文对近几年来运用单片制备方法 ,采用硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述。通过分析和研究指出 ,将微传声器与其外围电路集成在单片上可降低器件噪声 ,采用纹膜或复合膜结构可增加器件的灵敏度 ,根据具...
关键词：电容式微传声器 微机械加工技术 制备 
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