硅基微传声器的研究进展  

作　　者：陈兢[1] 刘理天[1] 李志坚[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所

出　　处：《中国集成电路》2002年第4期40-43,共4页China lntegrated Circuit

摘　　要：基于MEMS技术的硅基微传声器的出现是现代声学器件的又一次革命。本文介绍了微传声器的发展现状,并对流行的电容式微传声器的原理进行了简要分析。清华大学微电子所研制的微传声器在结构上具有创新,制作工艺与标准IC电路兼容,多项指标已位于国际先进水平。

关 键 词：电容式微传声器 驻极体传声器 机械灵敏度 制作工艺 前置放大器 硅基 频率响应 微电子 微机械 噪声 

分 类 号：TN64[电子电信—电路与系统]