6英寸内圆切片机简介  

作　　者：张国彪 

机构地区：[1]西北机器厂半导体设备厂

出　　处：《集成电路应用》2003年第8期57-58,共2页Application of IC

摘　　要：研发思路近年来,我国电子产业增长速度很快,集成电路市场以每年25%左右的增长速度发展。而集成电路销售额仅占国内市场需求总额的1/5左右,绝大部分依赖进口。在半导体总资本投资率中,设备行业约占30%～40%。

关 键 词：6英寸内圆切片机 技术参数 结构原理 用途 

分 类 号：TN305.1[电子电信—物理电子学]