标准静态膨胀法真空装置研制  被引量:7

Vacuum Standard Device Using Static Expansion Method

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作  者:许红[1] 王金锁[1] 孟宪华[1] 

机构地区:[1]上海市计量测试技术研究院

出  处:《上海计量测试》2003年第4期9-11,共3页Shanghai Measurement and Testing

摘  要:本装置检定范围(10^(-3)~10~5)Pa,最佳校准能力0.012%~2.2%,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^(-3)Pa高真空计量的需求,而且还可以用来校准标准漏孔,拓宽了检测领域。The performance of a static expansion vacuum standard is introduced in this paper. Calibration pressure of this apparatus is from 10-3 Pa to 105 Pa. And the total uncertainty caused by random errors is from 0.012% to 2.2%. This standard is used to calibrate capacitance diaphragm gauges, thermal conductivity vacuum gauge and various ion vacuum gauge. The standard also can be used to calibration gaseous reference leaks.

关 键 词:真空计 标准静态膨胀法 校准方法 校准装置 最佳校准能力 校准原理 

分 类 号:TB772[一般工业技术—真空技术]

 

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