检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]上海市计量测试技术研究院
出 处:《上海计量测试》2003年第4期9-11,共3页Shanghai Measurement and Testing
摘 要:本装置检定范围(10^(-3)~10~5)Pa,最佳校准能力0.012%~2.2%,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^(-3)Pa高真空计量的需求,而且还可以用来校准标准漏孔,拓宽了检测领域。The performance of a static expansion vacuum standard is introduced in this paper. Calibration pressure of this apparatus is from 10-3 Pa to 105 Pa. And the total uncertainty caused by random errors is from 0.012% to 2.2%. This standard is used to calibrate capacitance diaphragm gauges, thermal conductivity vacuum gauge and various ion vacuum gauge. The standard also can be used to calibration gaseous reference leaks.
关 键 词:真空计 标准静态膨胀法 校准方法 校准装置 最佳校准能力 校准原理
分 类 号:TB772[一般工业技术—真空技术]
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