一体化小型XeCl准分子激光器  

Compact Small XeCl Excimer Laser

作　　者：马树森[1] 王广昌 熊旭明 秦玉英 张兆平[1] 胡雪金 

机构地区：[1]中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥230031

出　　处：《量子电子学》1992年第2期170-172,共3页

摘　　要：本文报导了一体化小型XeCl准分子激光器的结构与特性,激光器体积100×40×27cm^3,重量50kg,单脉冲能量160mJ。The structure and characteristic of a compact small XeC_1 excimer laser werereported. The laser volume was 100(L)×40(W)×27(H)cm^3, weight ～50kg.The single pulse energy of 160mJ was obtained.

关 键 词：一体化 小型 准分子 激光器 

分 类 号：TN248[电子电信—物理电子学]