张兆平

作品数:6被引量:5H指数:2
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供职机构:中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
发文主题:激光器准分子激光器激光作用激光多光子电离质谱更多>>
发文领域:电子电信理学更多>>
发文期刊:《量子电子学报》更多>>
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若丹明6G掺合在P(MMA+MAA)共聚物中的固体染料激光研究被引量:2
《量子电子学报》1999年第1期42-46,共5页王广昌 张兆平 
用共聚合方法制备了若丹明6G掺合在P(MMA+MAA)共聚物中的固体染料样品,对其进行了光谱和激光性能的研究,得到了泵浦光-染料激光转换效率15%,激射寿命2万脉冲以上的固体染料激光输出,并和其它基体的若丹明6G固体...
关键词:固体染料激光 若丹明6G 染料激光器 
用于光刻的小型KrF准分子激光器及光学系统
《量子电子学报》1997年第3期236-239,共4页张兆平 马树森 秦玉英 熊旭明 
本文报道了用于半导体光刻的一体化小型KrF准分子激光器及光学系统的性能。获得了16mm×40mm的均匀光斑,光强分布不均匀性<±5%光密度~1mJ/cm2。最后讨论了改善微区均匀性的方法。
关键词:准分子激光器 光斑均匀性 光刻 
长脉冲XeCl激光的特性研究被引量:2
《量子电子学》1996年第6期513-516,共4页王广昌 张兆平 陈永荣 秦玉英 贺龙海 马树森 胡雪金 赵震声 
利用自动预脉冲方法获得了长脉冲XeCl激光。研究了长脉冲XeCl激光的能量、脉宽和电压、气压、气体组份、输出耦合镜反射率等的关系,获得了能量为150mJ左右、脉宽为100~150ns的长脉冲XeCl激光输出。
关键词:自动预脉冲 准分子激光 长脉冲 氯化氙 
小型KrCl准分子激光器的实验研究
《量子电子学》1994年第1期66-70,共5页施勇 张兆平 秦玉英 王广昌 熊旭明 马树森 
本文报导了一台小型KrCl准分子激光器的工作性能;其中脉冲能最达54mJ。并分析了影响KrCl准分子激光器寿命的原因。
关键词:KrCl 准分子激光器 激光器 实验 
一体化小型XeCl准分子激光器
《量子电子学》1992年第2期170-172,共3页马树森 王广昌 熊旭明 秦玉英 张兆平 胡雪金 
本文报导了一体化小型XeCl准分子激光器的结构与特性,激光器体积100×40×27cm^3,重量50kg,单脉冲能量160mJ。
关键词:一体化 小型 准分子 激光器 
308nm激光作用下苯的多光子电离质谱被引量:1
《量子电子学》1989年第4期312-316,共5页马树森 王广昌 秦玉英 王绍卿 姚永邦 张兆平 
报导了在308nm准分子激光作用下苯的多光子电离质谱。给出了质谱分布的情况随功率密度的变化关系。C_5族离子强度相当强,碎片离子丰富。积分离子流并非随功率密度的增加单调上升,在~100MW/cm^2处达到最大值。讨论了可能的电离过程和碎...
关键词:激光  质谱 多光子电离 
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