陶瓷球研磨成型机理的研究  

Study on the Furbishing Forming Principle of Ceramic Ball

作　　者：常敏[1] 吕冰海[1] 王志伟[1] 楼飞燕[1] 袁巨龙[1] 

机构地区：[1]浙江工业大学机电学院,浙江杭州310014

出　　处：《机械工程师》2003年第9期47-50,共4页Mechanical Engineer

基　　金：浙江省青年科技人才培养专项资金项目(RC02066);浙江省科技厅计划项目(2003C31057)

摘　　要：讨论了陶瓷球的成球机理,分析了一种新的研磨加工方法,即采用三块能够独立选择的研磨盘,通过控制研磨盘的转速,调整自旋转角的大小,可在较大的范围内取值,同时对计算机仿真和实验的结果进行了对比。结果表明:该方法结合化学机械抛光(CMP)等先进的抛光工艺,能够有效地提高陶瓷球的加工效率和质量。

关 键 词：陶瓷球 成球机理 去除效率 研磨轨迹 

分 类 号：TG580.68[金属学及工艺—金属切削加工及机床]