《上海市、四川省真空学会真空技术西部开发研讨会》会议纪要  

出　　处：《四川真空》2003年第1期56-57,共2页

关 键 词：真空电子器件 纳米电子器件 纳米技术 生命科学 真空技术 真空泵 真空冷冻干燥 

分 类 号：TB79[一般工业技术—真空技术]