低气压射频感应放电的参数计算  

作　　者：王强[1] 刘跃群[1] 

机构地区：[1]复旦大学电光源研究所,200433

出　　处：《光源与照明》2003年第3期9-11,19,共4页Lamps & Lighting

摘　　要：该文通过数值求解电磁场波动方程和流体方程计算了氩低气压射频感应放电的放电参数,并在计算等离子体电导率时考虑了电子碰撞的动力学影响。计算结果与其他模型的结论相符合。

关 键 词：低气压射频感应放电 参数计算 电磁场波动方程 流体方程 氩 等离子体 电导率 电子碰撞 气体放电灯 

分 类 号：TM923[电气工程—电力电子与电力传动]