基于弹性变形的微动工作台研究  

Research on the micro-position stage based on elastic deformation

作　　者：邹锋[1] 聂恒敬[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学仪器仪表学院检测研究所,230009

出　　处：《现代制造工程》2003年第9期55-56,共2页Modern Manufacturing Engineering

摘　　要：测量仪器和加工设备的定位技术需要微位移技术的支持 ,微动工作台是实现微动的重要手段。介绍研制的一台低成本的 ,基于弹性变形原理的微动工作台 ,并对工作台的特性进行了试验和分析。Precision manufacturing industry requires higher positioning accuracy for measuring instruments and machining equipments.The technology of micro displace implemented by the micro position stage plays key role in development of high precision industry.The paper introduces a low cost micro position stage based on the elastic deformation.The performance is shown.And the characteristics of the stage is also tested and analyzed.

关 键 词：微动工作台 弹性元件 线性度 测量仪器 加工设备 定位 弹性变形 

分 类 号：TG502.3[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH703[机械工程—仪器科学与技术]